Der Einladung von Prof. Dr. Hans J. Tiziani folgten ca. 330 in- und ausländische Fachleute aus Hochschulen, Wirtschaft und Industrie, das Auditorium war vollbesetzt. Prof. Tiziani gab eine Übersicht über neue Methoden und Verfahren der optischen Meßtechnik, insbesondere über adaptive Verfahren. Klassische interferometrische Meßmethoden haben sowohl durch rechnergestützte Auswertung als durch Formanpassung mit neuen verfügbaren Bauelementen neuartige Anwendungen gefunden. Insbesondere besteht ein wachsender Bedarf für Prüfsysteme, bei denen ein Form- oder Positionsvergleich bei hohen Taktzeiten möglich ist und die sich schnell an wechselnde Prüfaufgaben anpassen können. Hier bieten elektrisch adressierte graustufenfähige Matrix-LCDs (Flüssigkristalle), optisch adressierte Flüssigkristalle sowie digitale Mikrospiegel neue Möglichkeiten der Echtzeitbildverarbeitung.

Zum Thema optische Speichertechnik standen drei Vorträge im Programm. Prof. Joseph Braat vom Philips Research Lab., Eindhoven, hielt einen Übersichtsvortrag über Stand und Zukunft der CD-Technik. Prof. Braat, einer der „Väter" der CD, führte aus, daß neue Materialien, angepaßte Kodierungsverfahren und Konstruktion notwendiger Schnittstellen hoffen ließen, daß die Optik die Engpässe elektronischer Systeme überwinden helfe.

Prof. Theo Tschudi, IAP, TH Darmstadt, sprach über optische Speicher für die Informationsverarbeitung. Er machte deutlich, daß die holographischen Speicher in letzter Zeit wieder sehr attraktiv würden, insbesondere weil die parallelen Zugriffsmöglichkeiten neue Anwendungsmöglichkeiten in der Meßtechnik und Bildverarbeitung erschließen. Auch in der Rechentechnik wird ein optischer Massenspeicher gebraucht.

Von Andreas Wappelt, Institut für Technische Optik der Universität Stuttgart, und von Peter Kümmel, Susanne Orlic und Prof. Hans Joachim Eichler, Optisches Institut, Technische Universität Berlin, wurde ein neuartiges holografisches Speicherverfahren vorgestellt, bei dem die Information ähnlich wie bei der CD und DVD in Spuren auf einer optischen Disk gespeichert ist. Dabei sind die von einer CD/DVD her bekannten Pits durch mikroskopisch kleine Bragg-Reflektoren in einer photoempfindlichen Schicht ersetzt. Insgesamt kann damit die Speicherkapazität gegenüber herkömmlichen Flächenspeicherverfahren wie CD oder DVD-Technologie entscheidend verbessert werden.

Die Meßgenauigkeit in der „höchstauflösenden, quantitativen Mikroskopie" kam im gleichnamigen Beitrag von Dr. M. Totzeck, Dr. H. Jacobsen und Prof. H. J. Tiziani zur Sprache. In Zusammenarbeit mit der PTB (Braunschweig) wurde anhand der Breitenmessung topographischer Mikrostrukturen in Silizium demonstriert, daß im Bereich höchster Auflösung und Genauigkeit keine unmittelbare Bildinterpretation mehr möglich ist, sondern bereits vor der Bildauswertung eine profunde Kenntnis der Struktur-Licht-Wechselwirkung vorliegen muß. Erste Ergebnisse wurden vorgestellt, mit Hilfe einer „phasenschiebenden Ellipsometrie" den Polarisationseffekt zur optischen Mikrostrukturanalyse auszunutzen.

Neuartige Laserdioden mit dem Namen „Vertical cavity surface emitting laser" ( VCSL) wurden von Dr. Michael Moser und Mitarbeitern des CSEM, Zürich, vorgestellt. Diese Halbleiterlaser emittieren im Bereich von 760 bis 980 nm bei niedrigem Schwellstrom (< 3 mA) mit einer bereinigten Single-Mode Emission und einem rotationssymmetrischen Gaußprofil und sind für viele neue Aufgabenstellungen interessant.

Die bei der Herstellung hochpräziser optischer Bauteile benutzte hochgenaue interferometrische Meßtechnik in der Produktion wurden von Dr. Bernd Dörband und die Meßtechnik für State-of-the-Art-Lithographieobjektive von Paul Gräupner von der Firma Carl Zeiss, Oberkochen, ausführlich vorgestellt und bewertet.

Auch der Vortrag von Dr. Bernd Breuckmann, Breuckmann GmbH, Meersburg, gab einen Überblick über den Stand der Technik der photogrammetrischen und topometrischen 3D-Meßverfahren.

Prof. Charles Joenathan, Rose-Hulman-Institut, USA, Gastprofessor am ITO, trug Ergebnisse seiner hiesigen Arbeiten über Formmessung mittels zeitlicher Fourier-Speckle-Interferometrie vor. Diese Methode ist geeignet, die absolute Höhe des Objektes mit von der Größe des Objektes abhängiger variabler Auflösung zu bestimmen.

Das nächste Optikkolloquium findet im Februar 1999 in Stuttgart statt.

C. Budzinski

KONTAKT
Prof. Hans Tiziani, Institut für Technische Optik, Pfaffenwaldring 9, 70569 Stuttgart, Tel.: 0711/ 685 - 6075, Fax: 0711/ 685-6586.