Wissenschaftler des ITO haben ein Konzept für den Einsatz von
Mikrolinsenarrays in der optischen Meßtechnik erarbeitet und eine Anwendung im Bereich
der industriellen Oberflächeninspektion realisiert. In der ausgezeichneten Publikation
der Arbeit geht es um einen Beitrag zur Entwicklung und Herstellung von miniaturisierten
optischen Elementen mit neuen Eigenschaften: den Mikrolinsenarrays. Die neu entwickelten
Optiken bestehen beispielsweise aus einer flächenhaften Anordnung von 80 x 80
Mikrolinsen; jede Einzellinse hat einen Durchmesser von 0,2 Millimetern.
Die Innovation bei diesen Mikrolinsenarrays besteht darin, daß die Brennweiten der
Einzellinsen der Meßaufgabe beziehungsweise der Objektform angepaßt sind, zum Beispiel
einer Zylinderfläche mit dem Radius von 20 Millimetern. Werden solche Mikrolinsenarrays
in ein Mikroskop eingebaut, so können durch schnelle Verschiebung des Objektes senkrecht
zur optischen Achse des Mikroskops und eine entsprechende Bildverarbeitung verschiedene
Höhenprofile des Objektes mit Genauigkeiten im Bereich von einigen Millionstel
Millimetern aufgenommen werden. Dadurch wird beispielsweise die Prüfung von gekrümmten
technischen Flächen mit größerer Genauigkeit ermöglicht. Diese neuen Mikrooptiken
beruhen im Gegensatz zu den herkömmlichen refraktiven Linsen auf dem Prinzip der Beugung
des Lichts an sehr kleinen Strukturen, die radial auf einer ebenen Fläche angeordnet
sind. Diese Strukturen wurden mit einem Laserspot in eine fotoempfindliche Polymerschicht
auf einen Quarzträger geschrieben und aus Stabilitätsgründen in Quarz eingeätzt. Eine
bewährte Replikationstechnologie ermöglicht eine wirtschaftliche Herstellung solcher
Mikrooptiken.
Von großer Bedeutung für die Zukunft ist der Einsatz der Mikrolinsenarrays als
abbildende Optik zwischen Laserdioden und Lichtleitfasern. Hier hat man das Problem, eine
stark asymmetrische Lichtverteilung der Laserdioden möglichst verlustlos in
Lichtleitfasern mit kreisförmigem Querschnitt einzuleiten. Speziell angepaßte
Mikrooptiken erfüllen diesen Zweck schon gut. Ein weiteres wichtiges Anwendungsgebiet ist
die optische Speicherung in der Telekommunikationstechnik, die in Zukunft große Märkte
bedienen wird. Weitere Anwendungen sind in der Medizintechnik zu sehen. Speziell in der
Endoskopie haben sich die optischen Mikros mit Durchmessern von Hundertstel
von Millimetern schon bewährt. Die Optik, die an dem chirurgischen Werkzeug befestigt
ist, muß immer kleiner werden, um mit einer schnellen Bildauswertung als
künstliche Augen des Chirurgen bei der computergestützten Operation als
Minikamera zu dienen. Ein weites Einsatzgebiet sind auch die integriert-optischen
Sensoren, die - vom Nutzer meist unbemerkt - uns überall in unserem Alltag das Leben
erleichtern.
Christel Budzinski
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