Fazit des Einführungsvortrags von Prof. Tiziani: Die Grenzen der Optik und optischen Meßtechnik müssen laufend erweitert werden. Unsere Informationsgesellschaft verlangt eine immer schnellere Verarbeitung und Übertragung von Informationen mit ständig steigender Informationsdichte. Die treibende Kraft ist die Mikroelektronik, der größte und am schnellsten wachsende internationale High-Tech-Markt. Immer höhere Speicherkapazitäten werden gefordert. Dies führt zu kleineren Strukturen. Dazu sind kürzere Wellenlängen, bespielsweise 193 nm und in Zukunft 157 nm beziehungsweise sogar 13 nm erforderlich. Von dieser Entwicklung ist auch die mikroskopische Meßtechnik betroffen. Da die Messverfahren an die physikalischen Grenzen stoßen, sind neue Verfahren zur Strukturerkennung und -lokalisierung erforderlich.

In weiteren Vorträgen stellten Fachleute aus Wissenschaft und Unternehmen wie unter anderem der Siemens AG (München), Carl Zeiss (Oberkochen) oder IBM (Rüschlikon) Ergebnisse ihrer Arbeit vor. Sie sprachen über die Herstellung optischer Bauelemente für Anwendungen in Tele- und Datenkommunikationsnetzen, über die neueste Technik der optischen Kommunikation im Weltraum mit Laserlicht und über verschiedene Methoden der Parallelverarbeitung von optischen Signalen. Für die Parallelverarbeitung von optischen Signalen sind neue Laserdioden entwickelt worden und kommerziell zu beziehen, die senkrecht zu ihrer Oberfläche Licht aussenden, die sogenannten VCSEL-Arrays. Unabdingbar bei allen Prozessen ist eine hochmoderne Meßtechnik, die mit ihrer Genauigkeit stets eine Größenordnung unter den Meßgrößen liegen sollte und eine schnelle Datenerfassung und -verarbeitung bietet. Zu dieser Thematik wurden aus dem Institut für Technische Optik innovative Entwicklungen zur Mikroskopie an und unter der Auflösungsgrenze vorgestellt, neuartige Anwendungen der Streifenprojektion zur Prüfung technischer Oberflächen aufgezeigt, zum Beispiel der Erfassung von Rastermarken auf einer Nockenwelle, und schließlich holografische Verfahren zum Design neuartiger Lichtfelder präsentiert, wie etwa die optische Multi-Pinzette. Auch Zukunftsperspektiven für verschiedenste Anwendungsfelder wurden vorgestellt. Die Stärke der optischen Verfahren liegt darin, daß sie berührungslos flächenhafte Informationen liefern. Diese inhärente Parallelverarbeitung bedeutet in der Praxis, daß viel Information sehr schnell verarbeitet werden kann.

Christel Budzinski

KONTAKT
Prof. Dr. Hans Tiziani, Institut für Technische Optik, Pfaffenwaldring 9,
70569 Stuttgart, Tel. 0711/685-6075,
Fax 0711/685-6586
www.uni-stuttgart.de/ito